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德國P+F倍加福光柵尺消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差
點擊次數(shù):471 更新時間:2024-11-13

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     德國P+F倍加福光柵尺消除了由于柵距不均勻新模式、斷裂等造成的誤差

P+F光柵尺重要作用,也稱為P+F光柵尺位移傳感器(P+F光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置應用情況。P+F光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中很重要,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖也逐步提升,具有檢測范圍大保護好,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點組織了。例如充足,在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差表現,以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用異常狀況。P+F光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵大數據。

P+F光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成前景。圖1所示的就是P+F光柵尺的結(jié)構(gòu)。

光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源落實落細、會聚透鏡、指示光柵組成部分、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成深入闡釋。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭高效化、鏡像式讀數(shù)頭大大提高、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭)完成的事情。

莫爾條紋

以透射光柵為例調整推進,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個P+F光柵尺刻面相對平行放置時研究成果,在光源的照射下發展契機,位于幾乎垂直的柵紋上穩定,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋" (圖2所示)齊全。嚴(yán)格地說廣泛關註,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度機製,以W表示各項要求。

W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征:

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對移過一個柵距發力,莫爾條紋移過一個條紋距離優勢與挑戰。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)越來越重要的位置,變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步問題分析。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω投入力度、柵線角θ之間有下列關(guān)系效果。式中,θ的單位為rad技術,W的單位為mm改善。由于傾角很小,sinθ很小最新,則

W=ω /θ

若ω =0.01mm發揮重要作用,θ=0.01rad,則上式可得W=1模樣,即光柵放大了100倍取得顯著成效。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵數據顯示,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋責任,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻實現、斷裂等造成的誤差持續向好。

檢測與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的P+F光柵尺一般造價較貴,且制造困難不容忽視。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分記得牢,P+F光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法組建。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動進展情況,莫爾條紋也隨之上下移動重要的作用。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。

在一個莫爾條紋寬度內(nèi)明確相關要求,按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能服務為一體。例如方案,柵線為50線對/mm的P+F光柵尺特點,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖統籌發展,這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度品質。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小慢體驗,又要檢測其方向深化涉外,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾左右、直流分量和偶次諧波的必然要求,通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端物聯與互聯,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2狀況,為得到判向和計數(shù)脈沖,需對這兩路信號進(jìn)行整形取得了一定進展,首先把它們整形為占空比為1:1的方波業務。然后,通過對方波的相位進(jìn)行判別比較有所增加,就可以得到P+F光柵尺的移動方向完善好。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù),可以得到P+F光柵尺的位移和速度供給。

P+F光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活全過程,可安裝在機(jī)床的不同部位。

一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(滑板)上積極參與,隨機(jī)床走刀而動優勢領先,讀數(shù)頭固定在床身上,盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方使命責任。其安裝方式的選擇必須注意切屑共謀發展、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時持續創新,則必須增加輔助密封裝置創造。另外,一般情況下,讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機(jī)床靜止部件上,此時輸出導(dǎo)線不移動易固定不難發現,而尺身則應(yīng)安裝在相對機(jī)床運動的部件上(如滑板)。

1聽得懂、P+F光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝P+F光柵尺傳感器時推動,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上,更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上設備製造。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對運動的兩個部件上有效性。用千分表檢查機(jī)床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上資源配置,移動工作臺形勢,要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個要求,則需設(shè)計加工一件P+F光柵尺基座也逐步提升。

基座要求做到:(1)應(yīng)加一根與P+F光柵尺尺身長度相等的基座(最好基座長出P+F光柵尺50mm左右)。(2)該基座通過銑能力和水平、磨工序加工組織了,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外註入了新的力量,還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座表現。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時不要畏懼,調(diào)整讀數(shù)頭位置導向作用,達(dá)到讀數(shù)頭與P+F光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數(shù)頭與P+F光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右作用。

2重要意義、P+F光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺安裝面上,但不要上緊應用的選擇,把千分表固定在床身上效率,移動工作臺(主尺與工作臺同時移動)。用千分表測量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運動方向的平行度逐漸顯現,調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置十大行動,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,把M2螺釘上緊著力增加。


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