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德國P+F倍加福光柵尺變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步
點擊次數(shù):489 更新時間:2024-06-11

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    德國P+F倍加福光柵尺變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步

P+F光柵尺趨勢,也稱為P+F光柵尺位移傳感器(P+F光柵尺傳感器),是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置傳遞。P+F光柵尺經(jīng)常應用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中解決,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖動力,具有檢測范圍大不斷豐富,檢測精度高,響應速度快的特點多種方式。例如同時,在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用幅度。P+F光柵尺按照制造方法和光學原理的不同技術創新,分為透射光柵和反射光柵。

P+F光柵尺是由標尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成各有優勢。圖1所示的就是P+F光柵尺的結(jié)構(gòu)技術發展。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源有序推進、會聚透鏡適應性、指示光柵、光電元件及調(diào)整機構(gòu)等組成深入開展。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭需求、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭)各方面。

莫爾條紋

以透射光柵為例堅定不移,當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個P+F光柵尺刻面相對平行放置時占,在光源的照射下技術的開發,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋更讓我明白了。這種條紋稱為“莫爾條紋" (圖2所示)健康發展。嚴格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直飛躍。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度堅實基礎,以W表示。

W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 大數據。

莫爾條紋具有以下特征:

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對移過一個柵距還不大,莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用連日來,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)保障性,變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下信息化技術,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω領先水平、柵線角θ之間有下列關系。式中開拓創新,θ的單位為rad確定性,W的單位為mm。由于傾角很小去完善,sinθ很小意料之外,則

W=ω /θ

若ω =0.01mm必然趨勢,θ=0.01rad,則上式可得W=1橋梁作用,即光柵放大了100倍文化價值。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵講故事,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋單產提升,這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻置之不顧、斷裂等造成的誤差多樣性。

檢測與數(shù)據(jù)處理

電子細分與判向法

光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的P+F光柵尺一般造價較貴試驗,且制造困難規模。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進行細分新格局,P+F光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細分方法作用。當兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋特點,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量製度保障。

在一個莫爾條紋寬度內(nèi)聯動,按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細分與判向功能。例如產能提升,柵線為50線對/mm的P+F光柵尺發揮,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖適應能力,這在工業(yè)普通測控中已達到了很高精度設施。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小快速增長,又要檢測其方向要求,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾通過活化、直流分量和偶次諧波開放以來,通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端防控,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2組合運用,為得到判向和計數(shù)脈沖,需對這兩路信號進行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波研究與應用。然后適應性,通過對方波的相位進行判別比較,就可以得到P+F光柵尺的移動方向有效保障。通過對方波脈沖進行計數(shù)激發創作,可以得到P+F光柵尺的位移和速度。

P+F光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活稍有不慎,可安裝在機床的不同部位探索。

一般將主尺安裝在機床的工作臺(滑板)上,隨機床走刀而動全面協議,讀數(shù)頭固定在床身上重要作用,盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑講實踐、切削液及油液的濺落方向提升。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時,則必須增加輔助密封裝置相關性。另外,一般情況下製高點項目,讀數(shù)頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上的必然要求,此時輸出導線不移動易固定,而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上(如滑板)合作。

1、P+F光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝P+F光柵尺傳感器時,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上勇探新路,更不能安裝在打底涂漆的機床身上長遠所需。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度擴大。千分表固定在床身上非常完善,移動工作臺,要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)讓人糾結。如果不能達到這個要求不斷完善,則需設計加工一件P+F光柵尺基座。

基座要求做到:(1)應加一根與P+F光柵尺尺身長度相等的基座(最好基座長出P+F光柵尺50mm左右)全面革新。(2)該基座通過銑勞動精神、磨工序加工,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)方便。另外明顯,還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時基礎上,調(diào)整讀數(shù)頭位置安全鏈,達到讀數(shù)頭與P+F光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數(shù)頭與P+F光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右保供。

2能力建設、P+F光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上,但不要上緊技術創新,把千分表固定在床身上醒悟,移動工作臺(主尺與工作臺同時移動)。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度生產體系,調(diào)整主尺M4螺釘位置新模式,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,把M2螺釘上緊高質量。


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